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株式会社アローズ

〒212-0022 神奈川県川崎市幸区神明町1-14-3
TEL:044-589-3085 FAX:044-589-3235
提供実績:コーティング・Coating

抵抗加熱

電気抵抗加熱による真空蒸着技術は光学、装飾、反射、各種機能膜の形成に用いられます。当社では使用状況に応じた形状のフィラメントやボート、AL等のターゲットも提供しております。

《取扱商品》フィラメント、ボート、蒸着材料等

ボート
ボート
フィラメント
フィラメント
蒸着材料
ターゲット

電子ビーム蒸着

電子ビーム蒸着は光学部品の反射防止膜や電子部品の絶縁膜や抵抗膜、各種フィルム膜の形成に用いられます。蒸着試料をハースライナー(坩堝)に入れ、電子ビームによって蒸着します。電子ビーム用のフィラメントから様々な形状や素材のハースライナーを提供しております。

《取扱商品》EBフィラメント、電子銃部品等

ハースライナー
ハースライナー
電子銃部品
電子銃部品

イオンプレーティング

イオンプレーティングは自動車、工具、金型、各種機械部品などの表面処理に用いられています。皮膜材料を真空チャンバー内でアーク放電、ホローカソード放電などによって溶解し、イオン化させ皮膜形成します。
当社では炉内消耗部品から、ターゲット材も提供しております。

《取扱商品》炉内消耗部品

MOガイド及びWフィラメント
MOガイド及びWフィラメント
プラズマDLC部品
プラズマDLC部品

ターゲット

切削工具やピストンリングなどの硬質機能膜、時計や家電などの装飾膜において幅広くご使用頂いております。
また半導体向けの高純度ターゲットもご相談下さい。

ターゲット
ターゲット
ターゲット

アローズの代表的なターゲットとその特性
アルミ、アルミクロム、アルミクロムシリコン、クロム、銅、モリブデン、モリブデンタングステン、チタン、チタンアルミ、チタンアルミシリコン、チタンシリコン、タングステン、タングステンカーバイト、ニオブ、バナジウム、コバルト

AlCrの主な特性
比率(at%) 50/50 60/40 70/30
製造方法 HIP HIP HIP
純度 99.8 99.8 99.8
密度 4.5 4.1 3.7
TiAlの主な特性
比率(at%) 33/67 40/60 50/50
製造方法 HIP HIP HIP/溶解
純度 99.8 99.8 99.8

更に、当社ではご要望に応じた複合元素ターゲットの開発にも積極的に取り組んでいます。
耐酸化性、耐熱性、離形性などでお困りでしたらご相談下さい。


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