HOME

株式会社アローズ

〒212-0022 神奈川県川崎市幸区神明町1-14-3
TEL:044-589-3085 FAX:044-589-3235
提供実績:半導体・Semiconductor

単結晶育成

各種単結晶は半導体産業やLED産業などのエレクトロニクス製品として使用されています。当社では結晶育成プロセスに不可欠な高融点坩堝を、お客様のニーズに応じて様々な形状で提供しております。坩堝内電解研磨やバフ研磨についても対応可能です。

《取扱商品》坩堝、シードホルダー、軸セット …etc

高融点金属坩堝
各種焼結坩堝
坩堝スペック
  材質 寸法 密度
径×高さ(MAX) 角坩堝(MAX) 厚み(推奨)
焼結品 モリブデン 外径φ600 ×800H 450×450×600H 15t 10up
タングステン・モリブデン合金 外径φ600 ×800H 450×450×600H 15t -
タングステン 外径φ600 ×800H 450×450×600H 15t 18.8up
絞り品 モリブデン 外径φ500 ×300H - 3t 10up

※高密度化処理など、ご相談頂ければお客様に最適な高融点金属坩堝をご提案致します。
※シードホルダーや軸セットなどの坩堝以外の育成炉内部品もご相談下さい。


エピタキシャル成長

エピタキシャル成長とは発光ダイオード、半導体レーザー、パワーデバイス等の化合物半導体製品製造の重要な行程となります。MOCVDやHVPE法などの気相成長法において炉内は高温となる為、当社では耐久性や結晶品位の向上を目的とした様々な部品を提供しております。

《取扱商品》ヒーター、シールド、排気ダクト …etc

Wヒーター
Wヒーター
Moシールド
Moシールド
Mo排気ダクト
Mo排気ダクト

イオン注入

イオン注入は半導体製造における重要な行程です。伝導性や結晶構造などの材料特性を変える為に、半導体ウェーハ(主にシリコン)にイオンを注入します。
当社製品は海外装置メーカーにも採用されており中電流から高電流のイオン注入装置部品を提供しております 。

《取扱商品》アークチャンバー、フロントスリット、フィラメント …etc

イオン注入部品
イオン注入部品

HOME加工サービス材料標準品コーティング半導体その他の市場会社案内お問い合わせ