ターゲット材とは

さまざまな金属を溶解・焼結し、長方形や円盤型の板の形状、もしくは円柱型にした原材料です。用途として、液晶テレビなどの液晶パネル、ハードディスクなどの記録メディア、半導体、太陽電池などにおいて、「薄膜を形成する」ために使用されます。この「薄膜を形成する」技術・方法を「スパッタリング」と呼ぶことから、成膜するターゲット材のことを「スパッタリングターゲット」と呼ぶこともあります。

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