PROCESS MATERIAL
加工材質
TaC（炭化タンタル)コーティング
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TaC（炭化タンタル) コーティング
TaC（炭化タンタル)とは
TaCコーティングは、SiC等の結晶成長の品質を向上させるための中核となる1つの技術です。
高品質な製品製造のため、TaCコーティングの高純度、高温安定性、高い耐薬品性を実現できる、
最先端の炭化タンタルコーティング技術を導入しました。
材料面でも改善を重ね、高気孔率の多孔質黒鉛や独自の多孔質炭化タンタルも製造しております。
半導体産業内でのコーティング製品
TaCコーティングの物理特性
TaC（炭化タンタル）コーティングは、高純度、高温安定性、高耐薬品性を実現し、SiC / GaN結晶とEPI層の製品品質を向上させ、重要なリアクターの寿命を延ばすことができます。
TaCコーティングの使用は、エッジ問題を解決し、結晶成長の品質を向上させることが期待できます。
| 項目 | 数値 |
密度 (g/cm³) | 14.3 |
比放射率 | 0.3 |
熱膨張係数（×10-6/K） | 6.3 |
抵抗 (Ohm-cm) | 1 x 10-5 |
硬度 (HK) | 2000 |
熱安定性 | <2500℃ |
母材グラファイトの寸法変化 | -10～-20um(参考値) |
コーティングの厚さ | ≥20um 代表値 (35um±15um) |
※上記は代表的な値です
TaCコーティングの拡大比較
TaCコーティング製品一例
TaCコーティング
ウエハサセプタ
TaCコーティング
リング
TaCコーティング
部品
TaCコーティング
ガイドリング
TaCコーティング部品
関連製品紹介
多孔質TaC
※上記は代表的な値です
多孔質TaCは、新世代のSiC結晶成長における高温環境に適した材料です。
気相成分の濾過、局所的な温度勾配の調整、材料の流れの方向の誘導、漏れの制御等に使用されます。TaC部品（緻密固体）や、TaCコーティング部品と組み合わせて、局所的に異なる伝導性を持つコンポーネントも形成できます。
高純度多孔質TaCの工場実績は「最大気孔率＝75%」です。
多孔質グラファイト
※上記は代表的な値です
多孔質グラファイトは、高純度で高い多孔度を持ち、高温安定性に優れ2500℃以上の環境に耐えることができます。優れた表面粒子結合能力と優れた耐粉化性も備えています。
厳格な多孔度制御を行いつつ、優れた加工性も備えており薄型にも対応可能です。