– 真空蒸発源

FILAMENTS​

タングステンフィラメント、ロッドソース、ポイントソース、バスケット、ヒーターの幅広い選択肢を提供し、ほとんどのアプリケーションやカスタム製造に適合します。 弊社のフィラメントは、実績のある製造プロセスと材料を使用して社内で製造されており、業界で最高の品質、信頼性、一貫性を備えています。 弊社のタングステンメタライズフィラメントを使用する利点には、低コスト、低電力での高レート（容量制限）、再現性、使いやすさが含まれます。

CHROME PLATED TUNGSTEN RODS

電子および光学産業でクロムの薄膜に使用されています。 クロムチップに対する利点は次のとおりです。
「優れた熱効率」「膜厚の調整」「剥離の排除」

PART	C＆D	L	A	B
CRW-1	0.5	2	0.050	0.070
CRW-2	0.5	4	0.050	0.070
CRW-3	0.5	6	0.050	0.070

TUNGSTEN FILAMENT​

TYPE	WIRE SIZE
F1	3x.025W
F1	3x.030W
F1	.040W

TYPE	WIRE SIZE
F2	3x.025W
F2	3x.030W
F2	4x.030W

TYPE	WIRE SIZE
F3	3x.025W
F3	3x.030W
F3	2x.040W
F3	4x.030W
F3	.040W

TYPE	WIRE SIZE
F4	3x.025W
F4	3x.030W
F4	4x.030W
F4	2x.040W
F4	.040W

TYPE	WIRE SIZE
F5	3x.025W
F5	3x.030W
F5	4x.030W
F5	2x.040W
F5	.040W

TYPE	WIRE SIZE
F6	3x.025W
F6	3x.030W
F6	4x.030W
F6	2x.040W
F6	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F7	3x.030W
F7	4x.030W
F7	2x.040W
F7	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F8	3x.030W
F8	4x.030W
F8	2x.040W
F8	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F9	3x.030W
F9	4x.030W
F9	2x.040W
F9	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F10	3x.030W
F10	4x.030W
F10	2x.040W
F10	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F11	3x.030W
F11	4x.030W
F11	2x.040W
F11	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F12	3x.025W
F12	3x.030W

TYPE	WIRE SIZE
F13	3x.025W
F13	3x.030W
F13	4x.030W

TYPE	WIRE SIZE
F14	3x.030W
F14	4x.030W
F14	3x.040W

TYPE	WIRE SIZE
F15	3x.030W
F15	4x.030W
F15	3x.040W

TUNGSTEN ROD SOURCE​

PART	OL	WL	WRAP LAYERS
F16A	4	2	8
F16B	5	3	8
F16C	5	3	12
F16D	8	6	12

POINT SOURCE LOOP FILAMENT​

TYPE	WIRE SIZE
P1	3x.025W
P1	3x.030W
P1	4x.030W
P1	.060W

TYPE	WIRE SIZE
P2	3x.025W
P2	3x.030W
P2	4x.030W
P2	.060W

TYPE	WIRE SIZE
P3	3x.025W
P3	3x.030W
P3	4x.030W
P3	.060W

TYPE	WIRE SIZE
P4	3x.025W
P4	3x.030W
P4	4x.030W
P4	.060W

TYPE	WIRE SIZE
P5	3x.025W
P5	3x.030W
P5	4x.030W
P5	.040W
P5	.060W

TYPE	WIRE SIZE
P6	3x.025W
P6	.040W
P6	.060W

TYPE	WIRE SIZE
P7	3x.030W
P7	4x.030W

LOOSE LAY WIRE​

TYPE	WIRE SIZE
P8	3x.025W
P8	3x.030W

HEATER FILAMENT​

TYPE	WIRE SIZE
H1	.040W
H1	.060W

TYPE	WIRE SIZE
H2	.040W
H2	.060W

TYPE	WIRE SIZE
H3	.040W
H3	.060W

BASKETS​​

バスケットとバスケットヒーターは、最高品質のマルチストランドまたはシングルストランドのタングステンワイヤーで作られています。 タングステンバスケットは、低コスト、少量のコーティングに理想的であり、必要な電力は最小限です。 材料は、蒸発のためにバスケットに直接入れることができます。 バスケットヒーターはるつぼを利用しており、少量および大量のコーティングに使用できます。 カスタムバスケットをご利用いただけます。

BASKETS & BASKET HEATERS​

TYPE	WIRE SIZE
B1	3x.025W
B1	3x.030W
B1	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B2	3x.025W
B2	3x.030W
B2	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B3	3x.025W
B3	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B4	3x.030W
B4	.060W

TYPE	WIRE SIZE
B5	3x.025W
B5	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B6	3x.025W
B6	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B7	3x.025W
B7	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B12A	3x.025W
B12A	3x.030W
B12A	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B12B	3x.025W
B12B	3x.030W
B12B	.040W
B12B	.060W

TYPE	WIRE SIZE
B13	3x.025W
B13	3x.030W
B13	.040W

TYPE	WIRE SIZE
B14	3x.030W
B14	4x.030W
B14	.060W

TYPE	WIRE SIZE
B8A	3x.025W
B8A	3x.030W

『C1るつぼ』と使用可

TYPE	WIRE SIZE
B8B	3x.025W
B8B	3x.030W

『C9るつぼ』と使用可

TYPE	WIRE SIZE
B9	3x.030W
B9	4x.030W
B9	3x.040W

『C2るつぼ』と使用可

TYPE	WIRE SIZE
B10	4x.030W
B10	3x.040W

『C5るつぼ』と使用可

TYPE	WIRE SIZE
B11	4x.030W

『C6るつぼ』と使用可

CRUCIBLES​​

蒸発のニーズに合わせてさまざまなサイズのるつぼと材料を提供しています。 紹介のるつぼは、 BASKET HEATERSとCRUCIBLE HEATERに適合するように設計されています。 カスタムサイズはご要望に応じてご利用いただけます。 電子ビームシステム用のライナーもご用意しています。

CRUCIBLES​

TYPE	MATERIAL
C1 AO	アルミナ
C1 Q	クォーツ
C1 BN	ボロン・ナイトライド
C1 BNC	ボロン・ナイトライド・コンポジット

・『B-8A バスケット』『CH-1,CH-10.CH-11.ME-19 ヒーター』『 ME-18A バスケット』と使用可
・壁厚：.040
・テーパー加工

TYPE	MATERIAL
C2 Q	クォーツ

・『B-9 バスケット』と使用可
・壁厚：.050
・テーパー加工

TYPE	MATERIAL
C3 Q	クォーツ

・壁厚：.070

TYPE	MATERIAL
C4 Ta	タンタル
C4 Mo	モリブデン
C4 C	カーボン

・壁厚：.090

TYPE	MATERIAL
C5 AO	アルミナ
C5 Q	クォーツ
C5 BN	ボロン・ナイトライド
C5 BNC	ボロン・ナイトライド・コンポジット

・『CH-5.CH-12,CH-13 ヒーター』『 B-10 バスケット』と使用可
・壁厚：.060
・テーパー加工

TYPE	MATERIAL
C6 AO	アルミナ
C6 Q	クォーツ

・『CH-6,CH-14 ヒーター』『 B-11 バスケット』と使用可
・壁厚：.070
・テーパー加工

TYPE	MATERIAL
C9 AO	アルミナ
C9 Q	クォーツ
C9 BN	ボロン・ナイトライド
C9 BNC	ボロン・ナイトライド・コンポジット
C9 Ta	タンタル
C9 Mo	モリブデン
C9 C	カーボン

・『CH-1,CH-10,CH-11,ME-19 ヒーター』『 B8B,ME18B バスケット』と使用可
・壁厚：.040
・ストレート加工

TYPE	MATERIAL
C7 BN	ボロン・ナイトライド
C7 C	カーボン
C7 Q	クオーツ
C7 Ta	タンタル
C7 Mo	モリブデン

※『CH-7 ヒーター』と使用可
※サセプタータイプ
※I.D1/4インチ

TYPE	MATERIAL
C10 BN	ボロン・ナイトライド
C10 C	カーボン
C10 Q	クオーツ
C10 Ta	タンタル
C10 Mo	モリブデン

※『CH-9,ME-20 ヒーター』と使用可
※サセプタータイプ
※I.D5/32インチ

TYPE	MATERIAL
C8 BN	ボロン・ナイトライド
C8 C	カーボン
C8 Q	クオーツ
C8 Ta	タンタル
C8 Mo	モリブデン

※『CH-8 ヒーター』と使用可
※サセプタータイプ
※I.D3/8インチ

＊BN(窒化ホウ素)
結晶構造がグラファイトに似ており、 広範囲の温度で優れた誘電体です。
薄膜製造に使用される多くの材料による攻撃を受けません。すべての窒化ホウ素るつぼは、使用前にゆっくりと加熱し、完全にガスを放出する必要があります。 リクエストに応じて、各材質へのカスタムが可能です。

HEAT SHIELDED CRUCIBLE HEATERS(TO 1800℃)​​

シールド付きるつぼヒーターは、取り付けられたるつぼに均一な加熱を提供し、1800°Cまでの非常に高い速度と高温を実現します。
剛性の高い構造により、ヒーターとるつぼの寿命が延びます。
サーマルシールドは、システムがさらされる輻射熱を減らすことにより、真空コンポーネントを保護します。
カスタムサイズはご要望に応じてご利用いただけます。

CRUCIBLE HEATER​

TYPE

CH-1

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE

CH-5

・『C5 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1インチx1インチ

TYPE

CH-6

・『C6 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1-1/2インチx1-1/2インチ

TYPE

CH-7

・『C7 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・るつぼのサイズ3/8インチx1インチ

TYPE

CH-8

・『C8 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・るつぼのサイズ1/2インチx1-1/2インチ

TYPE

CH-9

・『C10 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・水平リード

・るつぼのサイズ1/4インチx1/2インチ

TYPE

CH-10

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・水平リード

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE

CH-11

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・垂直リード

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE

CH-12

・『C5 るつぼ』と使用可

・水平リード

・るつぼのサイズ1インチx1インチ

TYPE

CH-13

・『C5 るつぼ』と使用可

・垂直リード

・るつぼのサイズ1インチx1-1インチ

TYPE

CH-14

・『C6 るつぼ』と使用可

・水平リード

・るつぼのサイズ1-1/2インチx1-1/2インチ

TYPE

ME-19

・『C1,C9 るつぼ』と使用可

・るつぼのサイズ1/2インチx1/2インチ

TYPE

ME-20

・『C10 るつぼ』と使用可

・サセプタータイプ

・るつぼのサイズ1/4インチx1/2インチ